应用领域：纳米级精度要求旋转运动场合

产品特点：

1.非接触式气浮轴承，无磨损

2.轴跳和端跳，可达±0.1 μm, 摆角角度±2μrad      

3.Pich、Yaw可达±2 arc sec内

4.高重复和定位精度，重复定位精度可达±0.4μrad 

5.高运行平稳性

6.可采用铝合金、大理石、碳化硅等多种方案定制