应用领域：纳米级精度要求单轴和多轴复合运动场合

产品特点：

1.非接触式气浮导轨，无磨损

2.直线度、平面度相比机械式有质的提升，可达0.7 μm 内 

3.Pich、Yaw可达±2 arc sec内

4.高重复和定位精度，重复定位精度可达±0.1 μm      

5.高运行平稳性，速度波动可达0.1%

6.可采用铝合金、大理石、碳化硅等多种方案定制      

7.结构定制，客制化程度高